icp发射光谱仪也被称作电感耦合等离子体光谱仪，是一款以电感耦合高频等离子体为光源的原子发射光谱装置。常见icp发射光谱仪采用的icp发射光谱法是一种根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线，从而对待测元素进行分析的方法。目前，icp发射光谱仪在无机元素的定性及定量分析领域有着较多的应用。
常见icp发射光谱仪具有进样系统、电感耦合等离子体光源、光谱仪分光系统与检测器等部件。其中，进样系统作为icp发射光谱仪中的重要部分，在设备使用操作中运转较多。一般icp发射光谱仪的进样系统按试样状态不同可以分别用液体、气体或固体对各样品进行直接进样操作。而光谱仪的分光系统则是通过将复合光经色散元素分光后，得到一条按波长顺序排列的光谱，能将复合光束分解为单色光，从而进行检测记录。此外，光电转换器件作为光电光谱仪接收系统的核心部分，通过利用光电效应将不同波长的辐射能转化成光电流的信号。icp发射光谱仪中的各系统都十分重要，其各组件的状态都会对设备进行操作造成影响。在了解icp发射光谱仪的各系统部件后，其使用过程的步骤又是如何进行的呢？
一般icp发射光谱仪使用过程中，包括了三个过程，分别为使样品溶液蒸发、形成气态原子、并进一步使气态原子激发而产生光辐射。之后再将光源发出的复合光经单色器分解成按波长顺序排列的谱线，形成光谱。此外，用检测器检测光谱中谱线的波长和强度。根据待测元素原子的能级结构不同，因此发射谱线的特征不同，据此可对样品进行定性分析。之后再根据待测元素原子的浓度不同，因此发射强度不同，可实现元素的定量测定。以上便是一般icp发射光谱仪完成样品元素检测分析的过程，各系统部件工作并不复杂，但各部分的工作却十分重要。
由于资料有限，因而上述内容也许并不全面，具体icp发射光谱仪的工作原理，建议查阅相应设备使用说明书。