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荧光测厚仪常见覆盖层测量的典型测量范围

常见覆盖层测量的典型测量范围
表a.1 常见覆盖层测量的*测量范围
覆盖层
基体
近似厚度范围
μm
in


0~100.0
0~0.004


0~60.0
0~0.0024


0~30.0
0~0.0012


0~30.0
0~0.0012

塑料
0~30.0
0~0.0012

陶瓷
0~8.0
0~0.00032

铜和镍
0~8.0
0~0.00032

铜和镍
0~15.0
0~0.0006


0~30.0
0~0.0012

陶瓷
0~30.0
0~0.0012


0~30.0
0~0.0012


0~30.0
0~0.0012


0~40.0
0~0.0016
钯-镍合金

0~20.0
0~0.0008


0~7.0
0~0.00028

铜或镍
0~50.0
0~0.0020

铜或镍
0~50.0
0~0.002


0~60.0
0~0.0024

铜或镍
0~60.0
0~0.0024
锡-铅合金
铜或镍
0~40.0
0~0.0016


0~40.0
0~0.0016
注1:在整个范围内测量不确定度不是恒定的,而且靠近每个范围两端会增大。
注2:所给定的范围是近似的,而且主要取决于可接受的测量不确定度。
注3:如果同时测量表层和中间层,由于荧光x射线光束的各种相互作用,即表层会吸收中间层的荧光,那么各覆盖层材料可测厚度范围会发生变化,例如测量在铜上的金和镍时,若金覆盖层厚度超过2.0微米,则无足够的荧光保证镍层高精度测量。
注4:当进行厚度大于0微米(如铜或镍上的金:±0.005微米)覆盖层厚度测量过程中,测量不确定度。这就必须了解测量范围的下线。
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