日本进口orc 半导体光刻机的用途：
适用于大型板材生产的光刻机日本进口orc 半导体光刻机特长：
1.对应因热处理产生高翘曲基板・再布线表面扭曲基板。
2.采用最合适的方法使翘曲基板吸引搬送成为可能。
3.多点计测自动调焦功能。
4.对应板材伸缩的对位功能。
5.分割全面对位、shot by shot(die by die)对位、视野缩放功能搭载。
型式pps-8500
板材尺寸510 x 515mm(max)
解像力2.0 µml/s(感光材厚2.0 µm)
na（开口数）0.16、0.1可变
缩小比1:1
field尺寸52mm × 33mm
光刻波长ghi-line gh-line i-line(与菜单连动)
视野尺寸6inch
重复对位精度≦1.0 µm(|ave|+3σ)
装置尺寸／重量（w）3,000×（d）4,800×（h）2,500mm / 11,000kg
总结：对应板材生产功能，搭载丰富的生产功能，
采用最合适的方法使翘曲基板吸引搬送成为可能