图像处理与稳定 •扫描显微
•干涉/计量 •表面检测
•半导体测量 •光学计量
应用实例-纳米光刻
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天p18.xy300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。
特性
•大位移370μm
•大承载3.5kg
•通孔直径：ø35mm
•闭环重复定位精度高 •响应速度快
1~3维扫描台
p18系列压电扫描台包括x/xy/xyz三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
大位移、大承载、高刚度、高频响
p18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。
p18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600hz，配套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用。