脉冲电源:impulsing power source
用户的负载需要断续加电,即按照一定的时间规律,向负载加电一定的时间,然后又断电一定的时间,通断一次形成一个周期。如此反复执行,便构成脉冲电源。例如对于无极性电解电容器的老练工艺中,需要给电容器正向充电一段时间,然后放电,然后反向给电容器充电一段时间,然后放电,如此便形成正向→放电(断电)→反向→放电→正向……,如此反复。
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脉冲电源技术的基本工作原理
首先经过慢储能,使初级能源具有足够的能量;然后向中间储能和脉冲成形系统充电(或流入能量),能量经过储存、压缩、形成脉冲或转化等某些复杂过程之后,zui后快速放电给负载。
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脉冲电源的主要研究方向
①提高脉冲重复频率。通过提高脉冲的重复频率,不仅提高脉冲电源的平均功率,而且减小电源的体积和降低造价。
②提高电源效率,降低电源自身能耗。
③提高电源系统的可靠性,脉冲放电产热和高频电磁干扰对系统可靠性造成严重的影响。
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脉冲电源的应用
脉冲电源用于电镀金、银、镍、锡、合金时,可明显改善镀层的功能性;用于防护-装饰性电镀(如装饰金)时,可使镀层色泽均匀一致,亮度好,耐蚀性强;
脉冲电源用于贵金属提纯时,贵金属的纯度更高。脉冲电源优于传统的电镀电源,是电镀电源的发展方向。
双脉冲电源比单脉冲电源电镀更细致,光洁度更好。双脉冲电源的反向脉冲的阳极化溶解使阴极表面金属离子浓度迅速回升,这有利于随后的阴极周期使用高的脉冲电流密度,因而镀层致密、光亮、孔隙率低;双脉冲电源的反向脉冲的阳极剥离使镀层中有机杂质(含光亮剂)的夹附大大减少,因而镀层纯度高,抗变色能力强。
双脉冲电源适用于金、银、稀有金属、镍、锌、锡、铬及合金等的电镀;铜、镍等的电铸;电解电容的敷能;铝、钛等制品的阳极氧化;精密零件的电解抛光;蓄电池的充电等。
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脉冲电源的选择
按电镀工艺的不同要求,选择脉冲电源:
普通电镀工艺,容量小于3kw的整流器可以选择单相输入电源;而容量大于3kw时,为了防止电网电压的不平衡,应选择三相输入电源。对波纹系数要求比较高的特殊电镀工艺(镀硬铬等),波形的连续性尤为重要,可以选择调压器调压的硅整流器或增加滤波器的晶闸管整流器。
特殊电镀工艺对输出波形也有一定的要求,如一次换向、周期换向、单向脉冲、双向脉冲、直流叠加脉冲、直流叠加交流和多段混合波形等。产品的输出波形不同,所对应的用途也就不同。电源生产厂家针对不同的输出波形和用途,规定了不同的型号,因此根据需要的输出波形,即可选择电源种类
人们期望从脉冲电源电镀的应用中得到什么?
脉冲电源比直流电源贵得多,人们期望从脉冲电源中得到更好的镀液和镀层性能。具体说来,就是:
得到更致密、更均匀的镀层;
减少镀层孔隙率,提高抗蚀力;降低镀层内应力和脆性;
减少氢气析出,从而减少以至消除氢脆;
降低浓差极化,提高电镀可以使用的电流密度,从而提高镀速;改善镀层分布,特别改善小孔内的电镀效果;
增加镀层的电导率;
减少甚至可以不使用添加剂等等。
但是,用什么样的脉冲电源,采用什么样的脉冲参数,与什么样的设备和溶液相配合,才能达到上述的某些效果,这需要通过实验来探索。不要以为一用脉冲电源就能达到上述所有效果。请记住,达到其中某些效果就不错了,同时达到上述所有效果是不可能的,有时一个效果也达不到。在达到了想要的效果以后,还要考虑在经济上是否合算,再来决定是否投资,这样比较理性。
ae电源
美国advanced energy(优仪)公司生产的大功率开关电源产品,因其率,高精密,大功率和高工艺制程的可控性,被广泛运用于现代工业镀膜行业中,是镀膜工艺中*的高科技电源产品,有直流,中频,射频等电源产品,使用的行业包括半导体晶圆、光磁存储媒体、太阳能、玻璃镀膜、平板显示器、装饰镀、工具镀钛、类金钢石镀膜等。ae电源有很多系列,每一个系列中都有很多型号,以适应不同的工业产品的需要.在直流产品系列中,ae电源的早期的mdx,mdxii,和后来的pinnacle*代,pinnacle第二代以及diamond系列,分别有8kw,10kw,15kw等不同的功率。
ae电源是工业电源的者,性能稳定,品质可靠。
优仪(advanced energy)半导体(上海)设备有限公司是优仪(advanced energy)公司中国地区*维修中心。提供专业,正规的维修。
产品型号:
电源系统
直流电源
低/中频系列
网络匹配器
射频系列
射频测量仪器
直流脉冲产品套件
pinnacle 系列
pinnacle plus+
pinnacle3000
pinnacle diamond™
mdx 系列 500 w
mdx 系列 1 kw 与 1.5 kw
®
pdx
peii 低频系列
lfgs
ras
crystal
navigator 数位字匹配系统网络
variomatch™
paramount
apex
hfv
cesar
hilight
integro
ovation
gencal
直流脉冲产品套件
ae 的脉冲产品系列具有各种功能,能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kw 的功率以及 2-100khz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点,能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。
优势
特点
功能广泛灵活的直流脉冲附件系列通过允许在更大功率下运行,提高吞吐量减少靶材污染提高 10-200kw 的功率提供 2-100khz 的固定和可变频率
出色的弧控制——在很多情况下,弧*被消除。离子能量更高更大功率运行基材温度更低靶材温度更低工艺灵活性和宽容度系统整合容易双阴极功能(astral® 产品)
pinnacle 系列
业界*的 pinnacle 直流电源平台具有的工艺一致性和控制功能,从而大大减少了工艺变化,提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界zui低的存储能量、zui快的弧反应以及zui广的全功率运行阻抗范围。
优势
特点
zui低的运行和安装成本业界zui快的弧反应时间可配置的弧反应参数zui大的工艺效率的工艺控制
zui低的存储能量——每千瓦输出不到 1mj 无需调节输出变压器 4:1的阻抗范围靶材处理时间——zui大限度地缩短新靶材的处理时间 ±0.1%的输出重复性 joule 模式——*化的能量传送
pinnacle plus+
advanced energy (ae) 的 pinnacle plus+ 电源为单体直流脉冲电源,为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约成本以及具有的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术,pinnacle plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比,沉积率更高,重复性能更好,薄膜质量更为优异。
优势
特点
更高的沉积率与产品率薄膜均匀性和品质*成弧造成的基材损坏减少成本更低系统整合容易的工艺灵活性和宽容度重复性能在过度曲线上运行稳定吞吐量更高便于监控的系统灵活性