是将x射线照耀在样品上，经过从样品上反射进去的**次x射线的强度来。测量镀层等金属薄膜的厚度，由于没有接触到样品且照耀在样品上的x射线只要45-75w左右，所以不会对样品形成损坏。同时，测量的也可以在10秒到几分钟内实现。
测量办法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，称重法，x射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些办法中前五种是有损检测，测量伎俩繁琐，速度慢，多实用于抽样测验。 x射线和β射线法是无接触无损测量，但安装复杂低廉，测量范畴较小。因有喷射源，运用者必需恪守射线防护标准。x射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法合适镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
随着技术的日益**，特别是近年来引入微机技术后，采用磁性法和涡流法的测厚仪向微型、智能、多性能、高精度、适用化的方向进了一步。测量的分辨率已达0.1微米，精度可到达1%，有了大幅度的进步。它实用范畴广，量程宽、操作简便且价廉，是工业和科研运用宽泛的测厚仪器。 采用无损办法既不毁坏覆层也不毁坏基材，检测速度快，能使少量的检测任务经济地停止。
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