压电纳米位移台应用领域扫描显微镜掩模/晶圆定位干涉测量测量技术生物技术扫描和筛选带电容式传感器,实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
压电纳米位移台自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的sub-d连接器的id芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
适用于复杂真空应用压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
pimars纳米定位平台
picma压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
picma压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。picma促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对震动和冲击不敏感不敏感。它们真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
德国physik instrumente (pi) gmbh & co.kg成立于1970年,一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。pi代表着技术性能,定位精度可达纳米。pi可获得的组件独立于市场上,并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为pi的客户提供了显着的竞争优势。 physik instrumente提供了超越竞争的技术范围和垂直生产范围。然而,pi重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天,无论是在计量、显微,生命科技,还是激光技术,精密加工技术;无论是半导体科技,数据存储技术,还是光电子/光纤,天文等领域,pi的产品和技术正得到越来越广泛的应用,也赢得了越来越广泛的赞誉。 physik instrumente (pi)主要产品: 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 xy平台 六足/平行运动 xyz扫描仪 z-/倾斜平台,提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号: e-709、e-609、e-753、e-610、e-621、e-625、e-500、e-725、n-216、n-111、n-310、u-264、n-422、p-601、p-602、p-603、p-604、c-867、e-871、e-861、e-755、c-663、c-885、c-843、c-884、c-863、lps-45、lps-23、lps-24、m-664、m-664kcep、p-887.91、p-882.11、p-882.31、p-882.51、p-883.11、p-883.31 、p-883.51、p-885.11、p-885.31、p-885.51、p-885.91