您好,欢迎访问一九零五行业门户网

光纤预制棒生产对质量流量控制器的要求

光纤预制棒是制造光纤的主要原料,简称预制棒。预制棒的质量是否稳定,很大程度上受设备的影响。而质量流量控制器( mfc, mass flow contoller) 又是影响预制棒生产设备稳定性的重要因素。当今预制棒的制造方法主要是气相沉积法,而于测量和控制气体质量流量的是量热式mfc。旁路管热式mfc作为量热式mfc的一种,它在主管道上并联有一只口径较小的旁路管道,测量流量用的加热和感温元件只作用在旁路上,而主管道中的气流又以层流的方式流动,相对于其他形式的量热式mfc来说,它的测量准确度更高。所以这种形式的mfc在预制棒制造设备中用得。下面着重介绍这种形式的mfc及预制棒生产对这样的mfc的要求。
旁路管热式mfc的阀门一般有3种形式:热膨胀式、电磁阀式和压电阀式。热膨胀式的优点是阀门中没有运动部件,阀门的尺寸可以做得很小,但缺点是这种阀门的响应时间长(典型值为7 s左右),而且只能做成常开阀,不利于安全。电磁阀式的优点是:响应时间短(典型值为0.5 s左右) ,既可以做成常开的,也可以做成常关的。它是目前的旁路管热式mfc中的阀门形式。其缺点是阀门中有运动部件,经常受摩擦后磁性颗粒物质会被带入气流中,造成污染。最近几年, millipore等公司已经开发出使用隔膜阀取代电磁阀的fc2950型mfc,它可以消除电磁阀的- -些缺点,但是隔膜阀式的mfc价格更贵。,压电式阀门的优点是响应快,响应时间小于0.3s,缺点是:冲击很小,适用的温度范围小,需要很高的电压,对湿度的感应非常灵敏,运动部件非常复杂,弹簧压动时会产生颗粒物质,造成污染。
预制棒生产对设备管路的洁净度有很高的要求,所以一般在制棒结束后,还要通过mfc对相应的管路进行吹扫,所以这种设备中的mfc永远处于工作状态。好的mfc应该非常可靠,连续运行几年都不需要维修。预制棒的棒与棒之间各参数的重复性,很大程度上取决于mfc的重复性。一般来说,预制棒生产所需的mfc要求每次测量和控制的重复性应优于满量程的+2%
其它类似信息

推荐信息