x-射线荧光光谱仪（xrf）是一种较新型可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在x射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级x射线（即x-荧光）。波长和能量是从不同的角度来观察描述x射线所采用的两个物理量。
波长色散型x射线荧光光谱仪（wd-xrf），是用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征x射线信号。如果分光晶体和控测器作同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征x射线的波长及各个波长x射线的强度，可以据此进行定性和定量分析。该仪器产生于50年代，由于可以对复杂体系进行多组分同时测定，受到观注，特别在地质部门，先后配置了这种仪器，分析速度显著提高，起了重要作用。
随着科学技术的进步，在60年代初发明了半导体探测器以后，对x-荧光进行能谱分析成了可能。能谱色散型x荧光光谱仪（ed-xrf），用x射线管产生原级x射线照射到样品上，所产生的特征x射线（荧光）直接进入半导体探测器，便可以据此进行定性分析和定量分析。
由于普通能量色散x荧光采用低功率x射线管，又采用滤光片扣除背景和干扰，其背景偏高，分辨率偏小，使得应用范围受到限制，特别是在轻元素的分析受到限制。随之x射线偏振器的诞生，产生了一款新型的能量色散x荧光光谱仪，既偏振式能量色散x荧光光谱仪ed（p）-xrf，再加上sdd探测器的使用，不仅提高了（相对使用正比计数管和si（pin）探测器的仪器）的分辨率，免去si(li)探测器使用液氮冷却的繁琐和危险，原来普通能量色散x荧光的轻元素检出限高，分辨率差的缺陷，又使得（相对波长色散x荧光用户）购买和使用x荧光仪器的成本大大减低，这使得偏振式能量色散x荧光光谱仪ed（p）-xrf在分析领域的迅猛发展，越来越受到广泛关注。
三类仪器对比：
虽然偏振式能量色散x荧光光谱仪ed（p）-xrf、波长色散型（wd-xrf）x射线荧光光谱仪与能量色散型（ed-xrf）x射线荧光光谱仪同属于x射线荧光光谱仪，它们产生信号的方法相同，zui后得到的波谱或能谱也极为相似，但由于色散、采集数据的方式不同，三种仪器在原理、仪器结构和功能上也有所不同。
1、原理区别
x-射线荧光光谱法，是用x-射线管发出的初级线束辐照样品，激发各化学元素发出二次谱线（x-荧光）。波长色散型荧光光谱仪（wd-xrf）是用x射线直接照射样品发射x荧光，分光晶体将荧光光束色散后，测定各种元素的特征x-射线波长和强度，从而测定各种元素的含量；而普通能量色散型荧光光谱仪（ed-xrf）是通过滤光片得到背景相对较低的x射线，照射样品发射x荧光，x荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的x-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量；而偏振式能量色散x荧光光谱仪ed（p）-xrf是采用偏振次级靶，得到单色的x射线照射样品，再x荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的x-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量，这就大大提高了仪器的信噪比，提高了能谱仪分析轻元素的能力。
2、结构和功能方面的区别
波长色散型荧光光谱仪（wd-xrf），一般由光源（x-射线管）、样品室、分光晶体和检测系统等组成。为了准确测量衍射光束与入射光束的夹角，分光晶体是安装在一个精密的测角仪上，还需要一庞大而精密并复杂的机械运动装置。由于晶体的衍射，造成强度的损失，需要作为光源的x射线管的功率要大，一般为2～3千瓦。但x射线管的效率极低，只有1%的电功率转化为x射线辐射功率，大部分电能均转化为热能产生高温，所以x射线管需要专门的冷却装置（水冷或油冷），这就使得仪器结构比较复杂，硬件成本高，因此波谱仪的价格比能谱仪要高的多。
普通能量色散型x-荧光光谱仪（ed-xrf），一般由光源（x-射线管）、滤光片、样品室和检测系统等组成，与波长色散型x荧光光谱仪（wd-xrf）的区别在于它不用分光晶体，机构比较简单，价位比较低，但轻元素的检出限较高。
偏振式能量色散x荧光光谱仪ed（p）-xrf，不采用滤光片，而采用偏振次级靶，其它与普通能量色散x荧光光谱仪（ed-xrf）相似，结构也比较简单，价位也远低于波长色散型荧光光谱仪（wd-xrf），但在轻元素的检出限方面接近波长色散型荧光光谱仪（wd-xrf）。