电 子
支持电子零部件产品评价、品质管理,介绍用于电子装置实装、半导体基板制造工艺中的检测仪器。
·表面构造解析装置 ·接点不良/断线、烧坏 ·腐蚀、剥离/接触不良、异物
电子探针 epma-1600/1610型
分析扫描电子显微镜 ssx-550型
·异物解析装置 ·表面污染/异物、污点 ·缺陷 ·膜厚管理
ftir显微镜系统irprestige-21
·有害物质测定装置 ·有害重金属、薄膜组成 ·不良解析、废材处理
能量色散型微区x射线荧光光谱仪 µedx系列
能量色散型x射线荧光光谱仪 edx系列
·特性测定装置/粒度测定装置
差示扫描量热仪dsc-60系列
差热-热重同时分析仪dtg-60系列
对应超微粒子型激光粒度仪sald-7101
·洁净室环境监测 ·特定污染源、保持洁净度 ·微量有机物、微量杂质测定
气相色谱质谱联用仪gcms-qp2010 plus
原子吸收分光光度计aa-6300c
总有机碳分析仪燃烧法在线型toc-v csh online
·膜厚、光学特性测试装置 ·膜厚/光学测定
傅里叶变换红外光谱仪irprestige-21
紫外可见近红外分光光度计solidspec-3700
·无损x射线检查装置 ·高密度实装/可靠性 ·故障解析
x-ray检查装置(透视)
x-ray检查装置(ct)
·物理特性测试装置 ·强度测试 ·耐久性测试
小型台式电子试验机ez test/ez graph
微小电磁力疲劳试验机mmt系列
·物理特性测试装置 ·表面硬度 ·粘性测定 ·天平
超显微动态硬度计duh-211/211s
毛细管式流变仪cft-500d/100d
分析天平auw-d系列 电子托盘天平ux/uw系列
半 导 体 制 造 工 艺
从前段工艺到后段工艺,岛津的半导体制造技术和检测技术支持不断创新发展的半导体工艺。特别是在新low-k材料等面世的同时，对于测试技术的需求日益高涨。高、强电介体成膜用液体材料气化装置等新一代的制造装置系列，以及被广泛采用的涡轮分子泵等装置支撑着半导体工业。
·元件分离工艺(前段工艺)
rms测定、保护膜截面观察→spm
晶片中有机物污染分析→gcms qp2010se
硬度测定→显微硬度计
膜厚的热变化→dtg
保护膜的分子量分析和杂质测定→hplc essentia lc 51c
结晶面的杂质测定、异物检查→显微ftir
晶片中的氧、碳、磷、硼酸的定量,外延膜膜厚测定、膜中的氢浓度、膜的组成、结晶内的o、c的测定、清洗液双氧水，氨浓度管理→ftir
蚀刻液的杂质测定、清洗液的测定→uv、aa-6300c
污染测定→xrf、xps
回收水、再生水测定→toc
微量杂质测定→gc-2014c
膜厚测定→uv 2450
·晶体管形成工艺(前段工艺)
蚀刻液的杂质测定→aa 6300c
极薄膜的膜厚测定、组成分析→xrf、xps
保护膜的官能团测定→ftir
排水管理→toc
hsg的粒径测定→spm
·配线形成工艺(前段工艺)
bpsg组成分析
sin中的h分布测定、深度方向组成分析→xrf、edx、xps
al、cu配线的组成分析→xrf、edx、xps
·后段工艺
硬度测定→显微硬度计
焊接点的表面分析→xps
al腐蚀解析→ssx
引线框架电镀液的管理→aa 6300c
焊接不良解析→sem
拉引线、封装、焊接线的强度试验→材料试验机
缺陷检查→x射线透视、ct装置
模树脂的成形条件评价→流变仪
环氧树脂的热硬化测定→dsc
装置检查→检漏仪
与 汽 车 相 关 的 测 试 装 置
面向新一代汽车的开发和安全性，满足开发需求的评价、检查、试验装置,作为综合分析试验装置生产厂家，可为开发人们期待的新一代汽车fcv（燃料电池汽车）予以支持，提案各种装置群。此外,在可作为汽车燃料电池的固体高分子型燃料电池的开发、因投入基础设施最少而被注目的改质器的开发、与fcv的实用化相关的新材料的开发评价等方面也可以提供综合的帮助。
·改性器测试装置
高灵敏度无机气体分析装置gc-2014(pdd)
·无损检测装置
微焦点x射线ct系统smx-3000micro
·热分析装置
差示扫描量热仪dsc-60系列
差热-热重同时分析仪dtg-60系列
·燃料电池测试装置
超显微动态硬度计duh-211/211s
·材料强度测试装置
电子、电装部件试验（mmt系列）
电液伺服疲劳试验机ehf-u系列
液压试验机uh-i系列
空气疲劳试验机adt-a系列
·燃料电池测试装置（表面观察、组成、构造、膜厚）
分析扫描电子显微镜 ssx-550型
多道x射线荧光光谱仪 mxf-2400型
icp发射光谱仪
x射线衍射仪 xrd-6000型
氛围控制扫描探针显微镜 wet-spm系列
能量色散型x射线荧光光谱仪 edx系列
光电直读光谱仪pda-7000系列
扫描型x射线荧光光谱仪 xrf-1800型
x-ray检查装置（ct）
·粉体物理性质测试装置
激光粒度仪sald-2201