在半导体领域，我公司提供各种基于压电陶瓷的解决方案，包括用于减震的长寿命压电元件，用于定位的高性能大行程纳米定位陶瓷。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台，用于纳米测量应用的压电柔性纳米台，用于掩模对准的纳米对准系统，用于水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台。
应用
解决方案
典型产品
产品展示
纳米压印
光盘测试
掩模与晶圆对准
物镜精密定位
光刻
多轴压电系统
纳米定位台
压电促动器
纳米聚焦系统
定制六轴精密压电定位台
p16压电定位扫描台
p76/p72物镜压电定位器
光学干涉
闭环压电促动器与柔性导向系统
定制大行程物镜扫描器
xp-63x高精度纳米定位器xp-62x压电定位台
电缆接合
压电弯片促动器
压电弯曲片
光学测试/六轴定位
6轴并联机构微定位系统
n90hexapod 6轴定位系统
定制大行程hexapod系统
大行程纳米对准系统
铰链放大压电促动器
1-6轴压电柔性定位台
p11.xyz压电定位台
大推力压电促动器
光束扫描与稳定
光学路径校正
快速压电偏摆镜系统
p34 微型压电偏摆镜
p33高动态压电偏摆镜
主动减震
压电堆促动器与陶瓷
大推力压电促动器
高压压电陶瓷
薄片型压电传感器/致动器
纵向晶圆定位
压电z/tip/tilt偏摆台
p54压电z向及z/tip/tilt定位平台
定制六轴精密压电纳米定位台