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一种直拉硅单晶的制备方法
一种直拉硅单晶的制备方法。一种直拉硅单晶的制备方法,包括本发明所提供的直拉硅单晶收尾方法。
当然,可以理解的是,除了收尾方法之外,直拉硅单晶的制备方法,还包括引晶、缩颈、放肩、主体生长等步骤,上述步骤可以采用本领域技术人员可以根据实际情况选择合适的操作,在此不再赘述。
上述直拉硅单晶的制备方法,由于采用本发明所提供的直拉硅单晶收尾方法,使晶体的成品率提高,减小了材料浪费。另外,可使整个直拉工艺的时间缩短,从而可以提高单位时间产出,避免了时间浪费,节约了成本。
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