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KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 制备高性能光通信带通滤光膜

光通信的信息载体是光波,为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量,满足光通信系统的使用要求,广东中山某研究机构采用kri考夫曼射频离子源rfcip220制备高性能光通信带通滤光膜.
伯东kri射频离子源rficp220技术参数:
离子源型号
rficp220
discharge
rficp射频
离子束流
>800 ma
离子动能
100-1200 v
栅极直径
20 cm φ
离子束
聚焦, 平行, 散射
流量
10-40 sccm
通气
ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他
典型压力
< 0.5m torr
长度
30 cm
直径
41 cm
中和器
lfn 2000
*可选:灯丝中和器;可变长度的增量
在该研究项目中,以ta2o5和sio2作为镀膜材料,设计了含有12个谐振腔的带通滤光膜,分析并解决了耦合层膜厚监控的问题.
运行结果:
制备的带通滤光膜在1528~1571 nm处插入损耗小于0.2 db, 1470~1521 nm和1578~1651 nm处透射隔离度大于40 db,满足实际使用要求.
伯东是德国pfeiffer真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国kri考夫曼离子源, 美国hva真空阀门, 美国intest高低温冲击测试机, 美国ambrell感应加热设备和日本ns离子蚀刻机等进口品牌的代理商.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东:罗女士
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