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电容式传感器的测量电路

1、调频电路
当被测信号不为0时，δc≠0，振荡器频率有相应变化
特点：0．01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量， 并与计算机通讯。
2、运算放大器式电路
如果传感器是一只平板电容，则cx=εs/d
结论：uo的相位与输入反相,大小和位移呈线性关系
3、二极管双t形交流电桥
4、环形二极管充放电法
5、脉冲宽度调制电路
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