云南某大学实验室采用伯东kri考夫曼射频离子源rficp140离子束溅射制备尺寸均匀、高密度的mnge量子点,mnge量子点属于半导体量子材料的领域.
伯东kri考夫曼射频离子源rficp140技术参数:
型号
rficp 140
discharge
rficp射频
离子束流
>600 ma
离子动能
100-1200 v
栅极直径
14 cm φ
离子束
聚焦,平行,散射
流量
5-30 sccm
通气
ar, kr, xe, o2, n2, h2,其他
典型压力
< 0.5m torr
长度
24.6 cm
直径
24.6 cm
中和器
lfn 2000
运行结果:
kri考夫曼射频离子源rficp140可控性强,制备工艺简单,具有较强的商业价值.
伯东是德国pfeiffer真空泵,检漏仪,质谱仪,真空计,美国kri考夫曼离子源,美国hva真空阀门,美国intest高低温冲击测试机,美国ambrell感应加热设备和日本ns离子蚀刻机等进口品牌的代理商.
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上海伯东:罗先生