等离子体清洗是的干式清洗技术，具有绿色环保等特点，随着微电子行业的迅速发展，等离子清洗机也在半导体行业的应用越来越多。如今，不管是采用一般封装工艺还是倒装芯片封装工艺，在用化合物填充封装前，都需要对被封装对象采用等离子清洗机来进行清洁清洗。为了提高产品优良率，等离子清洗机的应用已经被业界认为是必须过程。等离子清洗设备可以将芯片封装前的所有大小表面（包括间隔缝隙），都能按生产要求进行活化和清洗清洁。
等离子清洗机超精细清洗（元件清洗）不会损伤敏感结构
等离子清洗机对表面进行选择性地功能化处理以便进行后续的加工
等离子清洗机精益的工艺布局，显著的成本节约，粘接工艺中的不良率降低
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关键词：等离子清洗机 芯片 清洗设备