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促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产mos电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
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洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现别的洁净室。例如,在洁净室中设水平单向流的“隧道”(一侧敞开),洁净室的其余部分是涡流的单向流流型,从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度。
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与室外之间均应保持一定的正压值。洁净室气流组织考虑原则编辑(1) 当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。(2) 减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。
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