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磁控溅射机-沈阳鹏程公司-磁控溅射机哪家好

磁控溅射镀膜设备的主要用途
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——磁控溅射产品供应商,我们为您带来以下信息。
1.各种功能性的薄膜镀膜。所镀的膜一般能够吸收、透射、反射、折射、偏光等效果。
2.时装装饰领域的应用,比如说各种全反射镀膜以及半透明镀膜,可适用在手机外壳、鼠标等产品上。
3.微电子行业领域中,其是一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气象沉积上。
4.在光学领域中用途巨大,比如说光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻 璃和透明导电玻璃等方面得到应用。
5.在机械行业加工中,其表面功能膜、超硬膜等等。其作用能够提供物品表面硬度从而提高化学稳定性能,磁控溅射机公司,能够延长物品使用周期。
磁控溅射介绍
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用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴*),等离子体和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体(如陶瓷),则回路断了。于是人们采用高频电源,磁控溅射机哪家好,回路中加入很强的电容,这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。
自动磁控溅射系统概述
带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,大到6旋转平台,可支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,磁控溅射机价格,*限真空可达10-7 torr,15分钟内可以达到10-6 torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
带有14”立方形不锈钢腔体,磁控溅射机,4个2”的磁控管,dc直流和rf射频电源。 在选配方面,350 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。
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