（1）真空阀关闭真空阀，机组停止运行，可保持干燥系统一定的真空度。
（2）自动气动安全阀为防止机组突然停车时水环泵系统中的水向罗茨泵及真空干燥系统中倒灌。
（3）压差阀机组开始运行时，先启动水环泵，在压差阀两端逐渐产生压差，达到一定值时，阀自动开启，使系统中大部分气体经此阀流进水环泵。当大气逐渐通过大气泵流进水环泵，压差阀两端压力又逐渐减小，以致关阀，于是大气泵随即开始正常工作，压差阀的作用是为了缩短大气泵正常工作前的预抽时间。
（4）水位计起止逆阀的作用，防止水环泵的水倒流。
操作顺序如下：先开动水环泵，系统中气体径由罗茨泵（此时推动罗茨泵转子转动）进入水环泵而由汽水分离器排向大气。当抽到压力为50torr时启动罗茨泵2，当压力到20torr时再启动罗茨泵1，zui后系统压力可达到0.088torr，一般情况下可维持在1torr以下。