测量气体的质量流量将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量热式气体质量流量计。控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5vdc。气体质量流量控制器的检测范围为满刻度(量程比为50：1)，流量分辨率为0.1%满刻度。
着气体的流量增大，带走的热量就上升，那么温度传感器自身的温度就会下降。而温度传感器前后的温度变化值与通过该管路内的气体的质量流量恰恰是成线性比例的，由此工作原理则可推算出气体的质量流量。顾名思义，就是在保持温度差不变的情况下，通过测量加热功率的变化来计算气体的质量流量。