极紫外光(euv)阿秒多层反射镜设计用于阿秒脉冲的转向、聚焦和整形。他们的多层膜中心位于65ev(19nm),带宽为6ev(1.8nm),为 s 偏振光提供38%的峰值反射率。这些反射镜支持持续时间为330阿秒的极紫外(euv)脉冲。 ufi极紫外(euv)阿秒反射镜是基于高次谐波(hhg)、自由电下面文章将为您具体讲解下《优势供应edmund optics阿秒多层反射镜#16》等内容,还请感兴趣的继续阅读了解一下,谢谢!
极紫外光(euv)阿秒多层反射镜设计用于阿秒脉冲的转向、聚焦和整形。他们的多层膜中心位于65ev(19nm),带宽为6ev(1.8nm),为 s 偏振光提供38%的峰值反射率。这些反射镜支持持续时间为330阿秒的极紫外(euv)脉冲。 ufi极紫外(euv)阿秒反射镜是基于高次谐波(hhg)、自由电子激光器(fel)或其他量子光学应用产生和整形阿秒脉冲的理想选择。可提供直径为25.4mm的平面反射镜和凹面反射镜;如果您的应用需要定制中心能量、带宽或其他规格的极紫外(euv)多层反射镜,请与我们联系。
性能特点
设计用于65ev(19nm)下的 330 阿秒脉冲具有38%峰值反射率的多层镀膜≤1å 表面粗糙度超抛光基底另外提供专为5nm 设计的极紫外(euv)平面反射镜 和 极紫外(euv)球面反射镜
技术参数
直径 (mm):25.40 ±0.13
基底: 熔融石英(corning 7980)
表面质量:10-5 (基质)
涂层规格:rs > 38% @ 65ev/19nm
涂层: 多层euv (19nm)
入射角 (°):5
有效孔径 (%):80设计波长 dwl (nm):19
边缘: 精细研磨
表面粗糙度(埃):<1
中心能源(ev):65 ±2
带宽 (ev):6
支持的脉冲持续时间:330阿秒
边缘厚度 et (mm):6.35 ±0.20
有效焦距 efl (mm):500.00
半径 r1 (mm):1000.00
产品参数
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