75.2系列瑞士vat快速关闭阀主要要求是在出现空气涌入时能够快速可靠地做出反应。由于泄漏而失去 uhv 或 xhv 环境，尤其是在加速器或储存环等大体积环境中，可能会导致严重的污染问题，并且需要付出努力才能恢复所需的真空水平。
75.2系列瑞士vat快速关闭阀有哪些主要特点如下：
uhv 和 xhv 兼容
快速高保护合闸机构
安全关闭后很容易恢复到就绪状态
高度可靠
好处：
成熟的技术
几乎免维护
拥有成本低
75.2系列瑞士vat快速关闭阀 的软泵功能使其特别适用于需要在可能较大的电导谱范围内进行精确校准的大体积流量。大电导谱是通过组合两个高真空角阀实现的，其中主阀与旁通阀在一个紧凑的组件中相互作用。
阀门侧面的调节轮可以微调软泵效应。这允许在非常宽的电导率范围内对所需的工艺参数进行最佳校准。
为了实现简单精确的调整以及轻松的重置，轮子提供了 11 个位置标记。这些有助于设置的再现性以及将设置复制到以相同设置运行的其他阀门。
在此设计中，29.2 因其在精度和紧凑结构方面的性能范围。在其他配置中只能通过多个阀门和额外管道实现的功能，29.2 提供单一解决方案。
对于容易发生冷凝的温度敏感过程，29.2 可以配备集成 ptc 加热器。
特别是在不断变化的工艺条件下具有大工艺室容积的要求苛刻的应用中，例如太阳能电池或显示器制造，29.2 系列已证明其出色的“软”操作。
双软泵功能的一个积极副作用是可以减少或消除任何脉冲噪声。这导致更安静的生产/操作环境。
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